技术参数: l进板相机及光源 由1个相机,升级为五个相机 l增加四个对位光源 l增加图像采集卡以及触发盒 l视野 四个高精度对位相机均为10*8mm l像素当量: 20um/pix,满足±20um的Mark点精度要求 l碎片率≤0.02% l稼动率≥99% | 项目说明: SE工艺需求,升级高精度相机 边定位升级至Mark点定位,并使用专用工具重新标定,可实现快速标定; 相机可线下组装,节省更换安装时间; 相机位置可调,调试方便快捷; 五个相机实现高精度Mark点定位印刷。 |
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