技术参数: w运输轨道要求 皮带速度可调,轨道间距可调,传输稳定 w探针排组件 满足现场工艺要求,间距可调,测试稳定 w产量 轨道传输,探针排测试速度要求≤1.3S w碎片率 碎片率≤0.02% w稼动率 稼动率≥99% | 项目说明: w因硅片工艺不同,需要5主栅及不同多主栅进行切换; w更换探针固定架,滑块可移动,可同时兼容5主栅、6主栅、9主栅、12主栅电池片; w传送组件换成双滑轨支撑,前后可移动。 |
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